Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки

Авторы:

Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.

Уровень образования:

Бакалавриат, Магистратура

Дисциплины:

Технология материалов и элементов электронной техники, Технология материалов микросистемной техники, Технология материалов и эпитаксиальных структур, Технология материалов электронной техники, Технология материалов и структур электроники

Ознакомиться с текстом

В избранное В избранном

Печатное издание:

1 361 ₽

Купить В корзине

Электронная версия:

820 ₽

Купить

Вид издания

учебник для вузов

Год

2023

Объем

216 с.

ISBN

978-5-507-45480-8

Переплет

Твердый

Формат

16,5*23,5 см

Издание

1-е изд.

Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».