Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 1. От минерального сырья к монокристаллу
Авторы:
Уровень образования:
Бакалавриат, Магистратура
Дисциплины:
Вид издания
учебник для вузов
Год
2023
Объем
172 с.
ISBN
978-5-507-45479-2
Переплет
Твердый
Формат
16,5*23,5 см
Издание
1-е изд.
Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов.
Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Закрыть
Сообщить о поступлении
Укажите ваш e-mail, и мы пришлем уведомление, как только книга
станет доступна для покупки.