Толстые плёнки радиоэлектроники. Физико-технические основы, гетероструктурные среды, приложения
В пособии показана возможность физико-технических подходов в преодолении проблем в области создания миниатюрной элементной базы радиоэлектроники на основе объединяющего технического образа толстых пленок, занимающих размерный ряд от 2 до 100 мкм, со средами в наноразмерном масштабе. Излагаются основополагающие принципы конструирования радиоэлектронной элементной базы, включая несущие компоненты: технологичность, инвариантность, интегральность. Показан метод моделирования наномерных сред современной толстопленочной элементной базы.
Книга является учебным пособием для студентов высших учебных заведений по подготовке магистров, обучающихся по направлению «Электроника, радиотехника и системы связи». Она также предназначена для разработчиков и исследователей и может быть полезна работникам радиоэлектронной промышленности.