Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность

Пособие состоит из трех частей. Первая посвящена особенностям современного высшего технического образования и роли его фундаментальной составляющей в подготовке специалистов любого профиля. Вторая часть раскрывает логику развития электроники и важные вехи её истории, включая ламповую электронику, дискретную полупроводниковую и интегральную полупроводниковую электронику, а также ее переход в современную массовую кремниевую наноэлектронику. В третьей части книги описаны новые перспективные направления наноэлектроники и средства её инструментального, технологического и метрологического обеспечения. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника», «Электроника и наноэлектроника», «Наноматериалы» и другим, имеющим нанотехнологическую направленность.